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超薄切割片之固化树脂法

来源:原创  浏发布时间:2016-05-19   浏览:【106】
  可以让切割片得到很好的保型性,一般采用热固性酚醛树脂作为结合剂,将金刚石磨粒与树脂混合,然后用热压法烧结,热固化后再进行研磨加工,这种工序需要好几个小时,因此生产成本比较高。
  随着生产技术的进步,热固化树脂逐渐被光固化树脂所替代。光交联性聚合物,引发剂以及添加剂组成。它和热固化树脂最本质的区别在于其固化的过程是靠吸收相应波长的光辐射而引起的化学反应,使光固化树脂从液体转变为固体。它从液体转变为固体是分子量增加的结果,而不是溶剂挥发所造成的,故具有快速固化、无污染、节省能源的优点,但制约因素是其原材料价格较高。
  运用光固化树脂法制造超薄切割片方面,我国利用光固化树脂作为结合剂研制成功厚度为0.15mm的超薄型金刚石切割砂轮,并成功地完成了对单晶硅片的切割试验。
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